ECRI Microelectronics

Diseño de sistema de control de detección de circuito cerrado para giroscopio MEMS

Resumen: El sistema de detección de bucle abierto del giróscopo MEMS tiene desventajas obvias en la antiinterferencia y el ancho de banda, que no cumple con los requisitos de alta precisión. Se ha diseñado un sistema de control de circuito cerrado de modo sensible basado en el balance de retroalimentación de fuerza del microgiroscopio de silicio sobre la base de la presentación del principio de funcionamiento del giroscopio vibratorio micromecánico de silicio y el análisis de sus características dinámicas en este documento. La señal sensible es modulada por la señal de conducción como la señal de retroalimentación para equilibrar la fuerza de Coriolis después de la amplificación, filtración e integración. Simulink se usa para simular el sistema de lazo cerrado. Los resultados muestran que la fuerza de retroalimentación de CA compensa efectivamente la fuerza de Coriolis y se extiende el ancho de banda para realizar una extracción de señal efectiva y control de realimentación de fuerza.
Palabras clave: MEMS, giroscopio, control de lazo cerrado, retroalimentación de fuerza.
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